미분방정식과 반도체공정

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심화수학-보고서 (딜-그로브).pptx   (27 Page)
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자료설명
수준 높은 고3
미분방정식과 반도체 산화공정에서의 딜 그로브 모델
목차(차례)

1. 정상상태

2. 픽의 확산 제1법칙

3. 딜-그로브 모델

4. 추가탐구

5. 느낀점

본문/내용
산화 공정 성장 모델은 딜과 그로브가 제시한 딜-그로브 모델을 따르고 있다.

이 모델에서 성장 과정은 크게 2가지가 있다.

1) 확산
2) 화학반응

산화반응은 O2나 H2O가 형성된 SiO2 표면을 파고 들어가서 Si 와 만나야 일어난다.

그래서 SiO2를 지나서 Si 까지 도달하기 위해 SiO2층에서 확산이 일어난다.

그리고 나서 SiO2와 Si 계면에서 산화 반응, 즉 화학반응이 일어난다.




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반도체  반도체공정  미분방정식  정상상태  픽의확산  딜그로브모델  

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